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C/Cコンポジットランプ型フラットヒータ

ランプ型面状ヒータ(ＨＦＣ－Ｏｘ)

高温型フラットヒータ（ＨＦＣ）を、大気中の雰囲気でも使用できるような構造にしたランプ型の面状ヒータです。
ランプヒータと異なり面状のため、集光点がなく均一な昇温特性、均熱特性が得られます。
また、フランジにより真空チャンバへの取付けが簡単に行えます。
● ランプ型のため大気中での高温加熱が可能。
● 面状ヒータのため均熱性に優れる。
● 昇温スピードが早い。
● コンパクトでスペースを取らない。

 


使用温度 最高使用温度 均熱性 使用雰囲気
1000℃
（試料台温度）		 1100℃
（試料台温度）		 ±10℃
at
1000℃		 大気中
真空中
不活性
ガス中

 
● 半導体基板加熱(ＣＶＤ装置)
(酸素雰囲気中)スパッタリング装置・フラッシュアニール

 

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