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C/Cコンポジットフラットヒータ

高温型フラットヒータ(HFC)

高温型フラットヒータ(HFC)は、発熱体とリフレクタに炭素繊維/炭素強化複合材(C/Cコンポジット)を使用した、面状加熱ヒータです。
又、発熱体は2500℃まで使用でき、従来にない高温使用が可能となりました。

高温での、面状の均熱加熱が可能高温型フラットヒータは、フラットで均熱性が得られる、高温型の面状加熱プレートです。
昇温スピードが早い発熱体は、数秒で1000℃に昇温でき均熱性にも優れています。
ヒータが薄く、コンパクト試料を直接プレートにのせ、クリーンな状態で加熱処理が行えます。薄く、コンパクトなのでスペースを取りません。又、導入電流が小さく、取扱いやすいプレートヒータです。

 


最高使用温度 均熱性 使用雰囲気
1500℃ ※1
(試料プレート温度)
±10℃
at
1200℃
(実績値)
真空中又は
不活性ガス中※2
制御をヒータを2ゾーン以上に分割することも可能です。
※1 最高使用温度は使用環境やケース等の材質による制約がありますので御相談下さい。
※2 その他のガスで御使用になられる場合は、御相談下さい。

 

半導体基板加熱(CVD装置、スパッタリング装置、フラッシュアニール)
金属焼鈍
合金
セラミック焼成

 

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