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高温型フラットヒータ(HFC)
高温型フラットヒータ(HFC)は、発熱体とリフレクタに炭素繊維/炭素強化複合材(C/Cコンポジット)を使用した、面状加熱ヒータです。
又、発熱体は2500℃まで使用でき、従来にない高温使用が可能となりました。
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高温での、面状の均熱加熱が可能高温型フラットヒータは、フラットで均熱性が得られる、高温型の面状加熱プレートです。 |
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昇温スピードが早い発熱体は、数秒で1000℃に昇温でき均熱性にも優れています。 |
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ヒータが薄く、コンパクト試料を直接プレートにのせ、クリーンな状態で加熱処理が行えます。薄く、コンパクトなのでスペースを取りません。又、導入電流が小さく、取扱いやすいプレートヒータです。 |
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最高使用温度 |
均熱性 |
使用雰囲気 |
1500℃
※1
(試料プレート温度) |
±10℃
at
1200℃
(実績値) |
真空中又は
不活性ガス中※2 |
制御をヒータを2ゾーン以上に分割することも可能です。
※1 最高使用温度は使用環境やケース等の材質による制約がありますので御相談下さい。
※2 その他のガスで御使用になられる場合は、御相談下さい。 |
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半導体基板加熱(CVD装置、スパッタリング装置、フラッシュアニール) |
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金属焼鈍 |
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合金 |
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セラミック焼成 |
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詳細につきましては、カタログをご参照願います
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その他お問合せ、お見積につきましてはお手数ですがお問合せフォームよりご連絡お願い致します
FAX用専用見積用紙もございます
ダウンロード(準備中)
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