C/Cコンポジットフラットヒータ・(株)三幸インダストリーズ・Sanko Industries Co.,Ltd

高温型フラットヒータ（ＨＦＣ）

高温型フラットヒータ（ＨＦＣ）は、発熱体とリフレクタに炭素繊維／炭素強化複合材（Ｃ/Ｃコンポジット）を使用した、面状加熱ヒータです。
又、発熱体は2500℃まで使用でき、従来にない高温使用が可能となりました。

●	高温での、面状の均熱加熱が可能高温型フラットヒータは、フラットで均熱性が得られる、高温型の面状加熱プレートです。
●	昇温スピードが早い発熱体は、数秒で1000℃に昇温でき均熱性にも優れています。
●	ヒータが薄く、コンパクト試料を直接プレートにのせ、クリーンな状態で加熱処理が行えます。薄く、コンパクトなのでスペースを取りません。又､導入電流が小さく、取扱いやすいプレートヒータです。

最高使用温度	均熱性	使用雰囲気
1500℃ ※１ (試料プレート温度)	±10℃ at 1200℃ (実績値)	真空中又は不活性ガス中※2

制御をヒータを２ゾーン以上に分割することも可能です。
※1 最高使用温度は使用環境やケース等の材質による制約がありますので御相談下さい。
※2 その他のガスで御使用になられる場合は、御相談下さい。

●	半導体基板加熱(ＣＶＤ装置、スパッタリング装置、フラッシュアニール)
●	金属焼鈍
●	合金
●	セラミック焼成

詳細につきましては、カタログをご参照願います
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FAX用専用見積用紙もございます
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