フラットヒータ・(株)三幸インダストリーズ・Sanko Industries Co.,Ltd

◆A形スリーブ端子横取出し ◆A形CP端子横取出し
◆A形スリーブ端子横取出し ◆A形CP端子横取出し ◆A形CP端子縦取出し ◆A形スリーブ端子縦取出し
◆B形パイプ付スリーブ中央取出し ◆B形水冷パイプ付スリーブ中央取出し

フラットヒータは、サーモコアックスヒータをある範囲内で均熱を出す為に熱板内に収納させた製品で、特に半導体、真空蒸着装置、金型などの発熱源として適しています。

●	半導体基板加熱(CVD装置、アッシング装置他)
	真空蒸着装置などの均熱盤として御使用頂いております。

●	電力密度が高くとれ、常用900℃まで使用することができます。
●	熱電導速度が速く、レスポンス・タイムが速い。
●	耐圧性、耐衝撃性、耐蝕性に優れています。
●	真空、高圧容器中での使用に適しています。
●	優れた柔軟性で、シース外径の2倍最小半径で曲げられます。
	※600℃を超える場合、ヒータと電源の間に絶縁トランスを御使用下さい。

詳細につきましては、カタログをご参照願います
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